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Brooks熱式質(zhì)量流量計(jì)SLA系列資料

布魯克斯儀器的橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)和控制器將工藝所需的準(zhǔn)確性、可靠性和可重復(fù)性相結(jié)合，是一種能夠?yàn)槟峁└呔刃阅芎烷L(zhǎng)期穩(wěn)定性并且經(jīng)濟(jì)有效的測(cè)量?jī)x器。

應(yīng)用

化學(xué)品與石化分析和試驗(yàn)過程

實(shí)驗(yàn)室和分析系統(tǒng)

生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室

薄膜氣相沉積

熱處理、切割等其他熱過程

真空應(yīng)用

參數(shù)

流體類型  氣體

流量范圍  滿量程容量3 sccm - 2500 lpm

精度  ± 0.6% of SP

最大壓力  4500 psig

溫度  65℃

布魯克斯質(zhì)量流量設(shè)備得到廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵原因：

擁有業(yè)內(nèi)種類齊全的產(chǎn)品系列可滿足各種應(yīng)用需求

創(chuàng)新型 MultiFlo™ 技術(shù)可使一臺(tái)設(shè)備完成氣體類型和量程的切換工作并且無需從系統(tǒng)中拆除設(shè)備，同時(shí)還能夠提升過程氣體的測(cè)量準(zhǔn)確性

產(chǎn)品范圍全面，包括彈性體密封和金屬密封選件

超高純度設(shè)備，專為滿足薄膜、半導(dǎo)體以及其他高科技行業(yè)需求而設(shè)計(jì)

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